离子注入机实现“山东造”助力半导体产业补链强链

近日，在济南高新区山东产业技术研究院内，济南市艾恩半导体科技有限公司的车间里一片忙碌，工作人员正在对一台离子注入机进行紧张的调试安装。

离子注入机是芯片制造的关键装备，在芯片制造过程中，离子注入是仅次于光刻工艺的重要环节，其注入效果决定了芯片内部结构器件最基本、最核心的电学性能。然而，长期以来，离子注入机技术被国外企业垄断，国产化之路困难重重。

目前，艾恩半导体自主研发制造的第一代碳化硅离子注入机已推向市场，正由芯片制造厂商进行验证。新工厂生产的第一台硅基中束流离子注入机也已进入最终安装调试阶段，预计下线后将交付山东某芯片制造企业。此外，对标国际领先技术水平的第二代碳化硅离子注入机正在研发中，有望于今年9月面市；自主研发制造的碳化硅大束流离子注入机，预计年底推向市场，填补国产设备在这一领域的空白。

据了解，一台离子注入机需要将接近2万个零部件集成起来，覆盖高压电子、机械、计算机控制、等离子体物理等多个高端学科，需通过一系列精密控制，确保各项指标参数的高稳定性、精确性。而山东作为制造业强省，离子注入机所需的近2万个零部件，过半可在本地配套，同时也拥有广泛的下游潜在客户资源，为艾恩半导体的发展提供了有力支撑。

艾恩半导体计划在3年内实现离子注入机所有机型的全覆盖，性能达到国际领先水平，为我国半导体产业的发展贡献力量。（济南日报爱济南记者：张刚）